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實(shí)驗(yàn)室高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)

2020-01-02 17:16:19

建設(shè)一座功能完善的實(shí)驗(yàn)室,要由專業(yè)技術(shù)人員專業(yè)設(shè)計(jì),要全面綜合考慮, 遵循以人為本的原則,建成正規(guī)化、標(biāo)準(zhǔn)化的實(shí)驗(yàn)室達(dá)到佳的使用效果?,F(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室,很多人的印象中都是“高大上”的代名詞,與貼近生活的行業(yè)完全不在同一層面。關(guān)于實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)和實(shí)驗(yàn)室裝修,以及前期的實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃,很多人都不知道這些工程由什么單位做,又是如何完成終看到的“高大上”實(shí)驗(yàn)室效果。

實(shí)驗(yàn)室一般我們都很少接觸,實(shí)驗(yàn)室出現(xiàn)的地方在學(xué)校記得以前在學(xué)校做化學(xué)實(shí)驗(yàn);但是有非常多化工業(yè)工廠,實(shí)驗(yàn)室的數(shù)量也非常的多,那么實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)裝修需要注意些什么,又有什么樣的設(shè)計(jì)理念?

實(shí)驗(yàn)室是學(xué)校教學(xué)科研的重要基地,是反映學(xué)校教育質(zhì)量、科學(xué)研究水平和管理水平的重要標(biāo)志之一。實(shí)驗(yàn)室的規(guī)劃、建設(shè)和管理必須貫徹國(guó)家的教育方針,不斷改革、創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)環(huán)節(jié)、積極開展科技開發(fā),培養(yǎng)具有“知識(shí)、能力、素質(zhì)”的綜合型、現(xiàn)代化的科技人才,取得高水平的科研成果,為社會(huì)服務(wù)。

綠色,將成為你工作的主旋律。走進(jìn)未來(lái)實(shí)驗(yàn)室,沒有傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室擁擠壓抑的天花,沒有傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室的臟亂擺放,取而代之的無(wú)天花懸橋系統(tǒng)讓實(shí)驗(yàn)室的空間變得更加開闊,簡(jiǎn)約風(fēng)的設(shè)計(jì)讓線條更加明朗,工作的心情也隨之變得明媚。

未來(lái)實(shí)驗(yàn)室,從設(shè)計(jì)到材料使用,從生產(chǎn)到包裝,所有的細(xì)節(jié),均符合綠色環(huán)保的理念——可回收,可循環(huán),可再生。一些科學(xué)家認(rèn)為,正如宇宙學(xué)上存在著一個(gè)讓所有物理定律都失敗的“奇點(diǎn)”一樣,機(jī)器智慧也正朝著“超越人類只能”的奇點(diǎn)邁進(jìn)。在未來(lái)實(shí)驗(yàn)室,機(jī)器不再是冰冷的器械,而是人類好的助手。智能化的樓宇自控系統(tǒng),人臉識(shí)別系統(tǒng),視頻會(huì)議,模擬人腦化的辦公操作系統(tǒng),讓你坐在家里也能輕松掌控實(shí)驗(yàn)室一舉一動(dòng)。你的工作只需要輕觸屏幕,智能化系統(tǒng)會(huì)幫你輕松搞定一切,你還會(huì)說(shuō)你的工作很累很辛苦嗎?

高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn):

1.對(duì)于不同特性的氣體,要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域,一般分為三個(gè)區(qū):腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū),將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理,可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

2.管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離,距離越長(zhǎng),成本越高,風(fēng)險(xiǎn)也越高,通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設(shè)計(jì)方面,則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關(guān),后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”~3/8”。

3.根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況,高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長(zhǎng);宜采用不封閉的環(huán)形管路,在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體,以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通,不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

4.管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管,在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個(gè)閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除,以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物,降低氣體純度。

5.對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng),但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。

6.為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器,如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外,還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口,以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣,分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

7.在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中,要求供應(yīng)10-9級(jí)的高純氣體,為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度,使氣體中的雜質(zhì)含量(包括塵粒)控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi),一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器


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